捷叡科技應用
網站設計

Hiden來台做EPD客戶培訓

Veeco+EPD的串接技術

2017-07-11

感謝聯華電子公司能給予捷叡公司這個機會,讓我們更了解 Hiden商品的 EPD (End Point Detection)的分析技術。

搭配Veeco的Etch機台 並將產生的金屬離子,透過Hiden IMP-EPD分析質譜技術,可讓我們了解到在多層晶圓片上

去了解鍍層的元素質譜定性/定量的分析。

謝謝Matt來台灣支援,第一次到"亞洲"的他,也嚐試了許多台灣美食

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