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Hiden工程師來台安裝 IMP-EPD

台灣第一套在學術界自制蝕刻量測分析系統

2019-11-12

感謝

國立台灣大學材料科學與工程學系暨研究所-白奇峰老師 

高敦科技股份有限公司

給予捷叡公司這個機會,將電漿蝕刻機 與 Hiden IMP-EPD (End Point Detection)的分析技術整合在一起。

在蝕刻(Etch)過程中,可以探討晶圓片經由Sputtering技術後的鍍膜膜層的研究。

也感謝Matt再次來台灣支援!

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